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“稳态微聚束光源确实能用于光刻,不过我们如今只是实验验证了这一概念,距离具体的应用阶段恐怕还需要大量的实验研究。”
教授办公室内,赵翔听完徐源的话,虽心中非常意动却也不得不摆出事实。
作为自己提出并成功验证的概念,他当然希望能为国家解决眼下困境。
毕竟目前国内半导体行业是个什么情况,只要接触网络都会知道。
确实急需解决高端芯片制造问题。
海外阿麦斯公司,使用的方法是用高能电子束轰击特定成分的气体,从而对晶圆片进行蚀刻,但国内现在的技术还做不出这种东西。但借助稳态微聚束,可以直接把电子束从零速度开始加速。
直到加速到很高很高。
那么所有速率的电子束全都有了,要用哪个速率的就放到特定的位置就行。
原本同步辐射在加速器领域,是个相对来说比较讨厌的事情。
因为会白白消耗加速器的能量,拖累粒子的进一步加速。
但若用于光刻的话,则刚好能利用这个效应来制造特定波长的光。
可以说能称得上脑洞大开。
如果这座光刻工厂真能建成,那么其效率将远不是普通光刻机能比的。
丝毫不夸张的讲,可以同时制造不同规格的芯片。
就好比有人要六十度的水,但精准烧不出来,那就放一条很长的管道。
让一百度的水流过管道逐渐冷却,要多少度的水在相应的位置直接接就行。
不过理念归理念,如何让这些设想变成现实,还需要深入的研究。
以及大量实验。
徐源如何不知道赵翔的忧虑,毕竟现在对稳态微聚束的研究确实不成熟。
若是晚上几年再启动光刻工厂项目,或许能更有底气自信些,不至于像现在这样,显得有些畏手畏脚。
奈何有时候计划赶不上变化。
形势不等人。
眼下国内对5G领域的研究,因高端芯片问题,前进的路基本半废。
既然决定了要自行解决高端芯片制造技术,那速度上就必须尽可能的快。
否则对5G的发展就会落后国际。
哪怕到时候再奋起直追,也会面对各样的问题。
正所谓落后就要挨打,关于这点可以说深有体会。
所以肯定不能把解决当下困境的希望,全部放在国产极紫外光刻机上。
明知道有新的方向道路,不管最终能否成功,也要尽全力尝试。
念头停留在这里,徐源整个人反倒放松很多。
半点没有和赵翔客气。
拉来椅子坐到办公桌对面,自己倒了杯水,然后才看向赵翔继续往下说。
“传统的极紫外光刻机技术,很多专利都已经被阿麦斯公司掌握,我们想要研究出国产极紫外光刻机,确实是非常大的挑战。”
“但谁规定制造高端芯片,就必须要用极紫外光刻机才行。”
“使用稳态微聚束光源建造光刻工厂,更符合我们的半导体市场情况。”
“而一旦这条路走通,那么芯片制造在很大程度上就变成了一个基建项目,这才是我们我们最熟悉且擅长的专属赛道。”
赵翔认真听完徐源说的这些话,内心无比激动之下显得脸色都有些红润。
作为科研人员,这两天他一直在关注网上的事。
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