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第9o章光刻机制作完成
李卫东接下来的日子,过的还算平静,并没有生什么事情。
李卫东天天呆在研究所工作,晚上就和周晓琳过幸福的两人生活,偶尔晚上出去找陈雪茹,徐慧珍聊聊人生,周末的时候就教授,张海洋这群小屁孩儿练拳,时间就这么一天天过去,直到光刻机最后一个零件加工完成。
李卫东就带领着,兴奋的研究所技术人员们,开始了组装光刻机。经过三天的组装,光刻机终于组装好了。
这意味着种花家的第一台真正意义上的光刻机,终于在研究所人员的不懈努力下诞生了。不过是否真正的成功,还需要制作芯片来试验一下。
光刻机的功能说起来很简单,那就是通过光线,投射到光刻胶上,带半导体芯片上制作出精细的电路图。
为了及时满足,光刻机实验需要的半导体芯片,在组装光刻机的过程中,李卫东就安排了人员及时为半导体芯片进行掩膜。
掩膜是一种特殊的光刻板,用于将设计好的电路图案,转移到硅片的表面。
掩膜制造是芯片制造过程中重要的步骤。眼膜上的图案决定芯片电路的结构和功能。
掩膜最主要的是设计好芯片的电路图案,这一步现在可没有计算机帮忙,全都是依靠一笔一划动手搞上去的,手动设计芯片电路图案,并生成相应的掩膜图案。
在所有人的期待下,李卫东亲自动手,开始了光刻机的第一张芯片制作。
掩膜装到光刻机内,然后李卫东拿出准备好的芯片基片。
这个基片是用硅片切割制作成的,李卫东小心翼翼的将基片放入专门清洗器内,将表面清洁干净,以确保后续加工步骤的准确性和精度。
随后,基片进入涂覆设备内,光刻机也自动在基片上将光刻胶涂覆在其表面。
通过旋转徒步的方式进行,确保光刻胶的选择和涂布过程中,不会对最终芯片质量产生不好的影响。
从清洗基片到涂覆光刻胶,都有专门的设备,该设备连接在光刻机上。
很快,光刻胶涂覆好的基片开始进入到光刻机的曝光室中。李卫东操作着光刻机的控制系统,将激光射线投射到光刻胶上,从而在其表面制造出所需的图案和结构。
因为光刻机本身只有一些集成电路,因此李卫东还需要手动,进一步通过控制光束的聚焦和位置,将光线投射到基片的正确位置上。
几片完成曝光后,需要将光刻胶进行显影,已去除未曝光的部位。
而到了这一步,那就只能等待了。在基片转移到显影液中浸泡光刻胶,从而将为曝光的部分溶解掉留下所需的芯片图案和结构。
这个过程并不需要太长的时间。当李卫东取出浸泡之后的基片,确保芯片的图案和结构完整无缺。
此刻,不单单是李卫东无比激动,在这关键的一步之中,现场所有人也全都忍不住屏住了呼吸。
只见李卫东小心翼翼的对半导体芯片进行了清理,已去除显影液和其他的污染物。
当然,清洗的过程肯定不是拿着抹布擦,而是有专门的清洗室。
直接将芯片浸泡在清洗的特殊溶液中,然后用高压气体喷射和旋转清洗半导体芯片的表面,以确保半导体芯片表面干净无尘。
等到半导体芯片清洗完成的时候,这张小小的芯片被戴着无尘手套的李卫东轻轻的拿在手中。
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